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石墨舟有什么工作原理?

發(fā)布作者:jcadmin      發(fā)布時間:2023年11月20日

     石墨舟裝片房:用于太陽能職業(yè)與PECVD承載車配套、裝取硅片、制作中效及高效過濾器,確保吹出的空氣抵達凈化要求。
石墨舟作業(yè)原理:
  空氣經(jīng)過高效過濾后,阻尼層均壓,使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片作業(yè)區(qū),然后確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。
石墨舟主要特點:
  1、能準確的使石墨舟承載裝片車定位;
  2、選用不銹鋼制作,整機結構穩(wěn)固可靠;
  3、選用GK系列高效空氣過濾器3只;
  4、PECVD承載車在里面可歪斜15度或旋轉180度;
  5、凈化風機噪音小于50dB。
  6、確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達工藝要求的潔凈度100級。