石墨舟的預(yù)熱及預(yù)處理方法
發(fā)布作者:jcadmin 發(fā)布時間:2024年01月19日
石墨舟的預(yù)熱
1.烘干后的石墨舟由出產(chǎn)、工藝、設(shè)備查看無損壞后,一起將石墨舟進行預(yù)熱。
2.預(yù)熱時石墨舟內(nèi)不放硅片,將需求預(yù)熱的舟放入閑暇的爐管,此爐管不進行工藝,只需手動把真空泵的閥門打開就行了。
石墨舟的預(yù)處理(鍍舟)
將空的石墨舟由出產(chǎn)、工藝、設(shè)備承認無反常之后,把石墨舟放進爐管開始進行預(yù)處理(鍍舟),其他的步驟跟正常的出產(chǎn)工藝都一樣,但到“淀積”那一步時將工藝堅持一個小時,然后再進行下面的步驟,等到工藝完畢,石墨舟從爐管內(nèi)出來之后,經(jīng)工藝人員承認之后,這個石墨舟就可以正常使用了。
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